城大图书馆历年试卷
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EE8404 · Nanotechnology for Devices and Microsystems
设备和微系统纳米技术
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课程资料
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课程简介
该课程的目的是向学生提供深入了解微电子和微系统所使用的纳米制造技术的化学和物理所必需的理论知识和分析技能。
中文名称与简介为机器辅助译文，尚待人工校对，以官方英文资料为准。
查看英文原文摘录
The aim of the course is to provide students with theoretical knowledge and analytical skills necessary for an in-depth understanding of the chemistry and physics of nanofabrication technologies used in microelectronics and microsystems.
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